申请日期：2014.12.16
公佈（公告）日期 2015.04.01
IPC分类编号C02F9/04; /04; /14
概括
本发明公开了一种含氟废水处理方法及系统，含氟废水送至含氟废水收集池进行化学混凝沉淀；送至ACF吸附塔、袋式过滤器，降低废水中的悬浮物、有机污染物、胶体对后续设备的影响；送至SAC/WBA/SBA树脂塔，降低废水电导率、控制pH值；得到的纯水送至成品水箱，部分纯水提供给ACF吸附塔、SAC/WBA/SBA树脂塔作为再生或反洗水，其余纯水送至地下水箱；SAC/WBA/SBA树脂塔中富含氟离子的再生废水及ACF吸附塔反洗排水送至含氟废水收集池处理后排放。 本发明在去除含氟废水中的氟离子的同时，能够降低废水的电导率，并且很好的控制pH值，经本发明处理后的水可直接回收利用，作为纯水生产的水源。
摘要及附图
索赔
1.一种含氟废水的处理方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤1、将含氟废水送入含氟废水收集池进行化学混凝沉淀；
第二步：将处理后的废水泵入ACF吸附塔后送至袋式除尘器进行活性炭吸附、袋式过滤，减少悬浮物、有机污染物及胶体对后续设备的影响；
步骤三，处理后的废水依次送入SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔，除去含氟废水中的氟离子、降低废水的电导率、控制pH值；
步骤4、将上述处理后得到的纯水送至成品水箱，一部分纯水提供给ACF吸附塔、SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔作为再生或反洗水，其余纯水送至地下水箱；
步骤5、经过上述处理后的SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔富含氟离子的再生废水以及ACF吸附塔反冲洗排水送至步骤1中的含氟废水收集池进行处理后排放。
2.根据权利要求1所述的含氟废水处理方法，其特征在于步骤3中树脂塔中的树脂为强酸性凝胶树脂和弱碱性大孔/强碱性凝胶阴树脂。
3.一种含氟废水处理系统，其特征在于：包括依次连接的含氟废水收集池、废水泵、ACF吸附塔、袋式过滤器、SAC树脂塔、WBC树脂塔、SBC树脂塔、终端过滤器、成品水箱、地下水池；还包括再生水泵，再生水泵一端连接在成品水箱与地下水池之间的管路上，另一端分别连接在ACF吸附塔、SAC树脂塔、WBC树脂塔、SBC树脂塔上；还包括HCl再生装置和NaOH再生装置，HCl再生装置连接在SAC树脂塔上，NaOH再生装置连接在SBC树脂塔上。
手动的
含氟废水的处理方法及系统
技术领域
本发明属于废水处理领域，涉及一种含氟废水回收利用及作为纯净水水源的方法及系统。
背景技术
氟是地球上分布最广的元素之一，化学性质十分活泼，几乎能与所有元素发生相互作用，因此地壳中的氟大部分以化合物形式存在。氟是人体必需的微量元素之一，但摄入过量可导致氟中毒。氟化钙含量过高可表现为不同的病理改变：骨质硬化、骨质疏松、骨软化症及继发性甲状旁腺功能亢进性骨病变。长期摄入过量的氟可使骨形成增多，形成的骨排列不规则，导致骨质与数量的分离，表现出明显的生理毒性。因此《污水综合排放标准》规定氟化物（以F-计）的限量值为10mg/L（二级排放）。
含氟废水是半导体制造行业产生的最主要的污染废水，氢氟酸因具有氧化性、腐蚀性，是氧化、蚀刻工艺中主要使用的溶剂，含氟废水主要来源于FAB车间BOE、石英炉管清洗机、Boron等机台清洗排水，以及Wire Saw车间晶圆清洗排水，清洗时会使用超纯水（UPW）。
现有的含氟废水处理技术一般采用化学沉淀法，即投加氯化钙PAC/PAM并加碱调节pH值。该工艺处理的含氟废水电导率较高，含氟废水中氟离子去除率只能控制在85%以内。处理后会产生大量污泥，处理后的含氟废水无法回用，只能排入市政污水管网。
反渗透是利用足够的压力，通过反渗透膜分离氟含量较高的水分子，目前广泛应用于海水淡化、超纯水生产及各类给排水处理中的脱盐浓缩工艺。但其回收率最多只能达到80-85%，出水氟含量一般只能低于10mg/L。氟化物（F-）去除率一般仅在93%~96%之间。即使采用两级反渗透，出水电导率达到≤15μs/cm（25℃），但实际上不可能达到氟含量低于1mg/L的要求。
发明内容
基于以上需求，本发明提出了一种处理含氟废水的方法及系统，有效的达到了预期的目的，在去除含氟废水中氟离子的同时，降低了废水的电导率，并且很好的控制了pH值。
本发明的技术方案如下：
一种含氟废水的处理方法，包括以下步骤：
步骤1、将含氟废水送入含氟废水收集池进行化学混凝沉淀；
第二步：将处理后的废水泵入ACF吸附塔后送至袋式除尘器进行活性炭吸附、袋式过滤，减少悬浮物、有机污染物及胶体对后续设备的影响；
步骤三、处理后的废水依次送入SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔，去除含氟废水中的氟离子，同时降低废水的电导率、控制pH值；树脂塔中的树脂为强酸性凝胶树脂和弱碱性大孔/强碱性凝胶阴树脂；
步骤4、将上述处理后得到的纯水送至成品水箱，一部分纯水提供给ACF吸附塔、SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔作为再生或反洗水，其余纯水送至地下水箱；
步骤5、经过上述处理后的SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔富含氟离子的再生废水以及ACF吸附塔反冲洗排水送至步骤1中的含氟废水收集池进行处理后排放。
一种含氟废水处理系统，包括依次连接的含氟废水收集池、废水泵、ACF吸附塔、袋式过滤器、SAC树脂塔、WBC树脂塔、SBC树脂塔、终端过滤器、成品水箱、地下水池；还包括再生水泵，其一端连接在成品水箱与地下水池之间的管路上，另一端分别连接在ACF吸附塔、SAC树脂塔、WBC树脂塔、SBC树脂塔上；还包括HCl再生装置和NaOH再生装置，HCl再生装置连接在SAC树脂塔上，NaOH再生装置连接在SBC树脂塔上。
本发明的有益技术效果为：
原有含氟废水处理工艺只能达到氟离子去除率85%，电导率>1000μS/cm（25℃），pH值无法控制，不能直接回用。而本发明处理后的出水水质电导率可达