磷酸法是将锯末用磷酸浸渍，在机械活化炉中制得活性炭。与氯化锌法相比，磷酸法的优点有：1：活性炭产率高；2活化力强，即磷酸法制得的活性炭质量优于氯化锌法；3不需盐酸洗涤，精制容易；4不需使用昂贵的气体回收设备，氯化锌法挥发出来的盐酸气体对人畜有害，所以要投入一定的资金来处理这些气体。但是磷酸法也有自己的缺点；1磷酸比氯化锌贵；2磷酸在高温下腐蚀性很强，所以对设备的损耗比较严重，在一定程度上增加了成本。
在活化过程中，磷酸有3-4%会被蒸发掉，另外还有3-4%在与设备的接触过程中损失掉。目前磷酸生产中最头疼的问题是磷酸在活化炉中随着温度的升高逐渐从木屑中分离出来，然后直接与设备材料接触，生成金属盐。如采用耐热、耐酸的镍基合金金属作铁板材料，基本可以控制磷酸的损失。但这种材料成本太高，不利于推广。因此，解决磷酸在活化过程中的腐蚀问题，回收并再利用磷酸将是磷酸工艺中的一个重要课题。
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