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摘要：某电子行业企业在清洗、腐蚀、蚀刻等工艺过程中产生大量含氟废水，浓度高，毒性强。 本文以该公司含氟废水处理项目为例。 采用“活性炭吸附塔+布袋除尘器+三级树脂柱+终端过滤箱”对部分含氟废水进行处理并回用。 再生废水和剩余含氟废水经二级加药化学沉淀工艺处理后排放。 上述工艺不仅能满足企业生产活动用水需求，而且含氟废水经处理后可实现达标排放。 工程实例证明，该处理项目能够显着降低废水中的氟含量，运行稳定，能够满足清洁生产的要求。
关键词：含氟废水，电子工业，三级树脂柱，二次沉淀
特种电子材料、电子元件和电路板是电子工业的基础产品，需求量很大。 在生产这些电子基础件的清洗、腐蚀、蚀刻等过程中，常常会产生排放量大、浓度高、毒性强的含氟废水，其中氟是废水处理的重点。 虽然氟是人体必需的微量元素之一，但摄入过量会对人体和生物体造成严重危害⑴。 近年来，随着氟化物的加工和使用，特别是电子工业和氟化物工业的快速发展，含氟废水的排放量持续上升。 该废水的合理收集和有效净化已成为实现清洁生产的关键。 目前，国内外处理含氟废水的主要方法有化学沉淀法、混凝沉淀法、吸附法、反渗透法、离子交换法、电絮凝法、液膜法、共蒸发法等。该方法出水水质不稳定，二次污染严重（4）。 因此，在含氟废水的实际处理过程中，更常采用多方法组合处理工艺。 例如，马前(5)采用]+反应处理含氟废水。 在渗透系统含氟废水的实际处理过程中，65%以上的方法是组合使用的。
本文以某电子工业企业含氟废水处理工程为例。 该企业在预清洗、腐蚀、蚀刻等生产过程中会产生含氟废水。 该废水产生量大、浓度高、毒性强。 考虑到公司含氟废水实际排放情况、排放特点、处置目的及处置成本，公司采用微机+布袋除尘器+三级树脂柱+终端过滤箱工业企业含氟废水处理项目所必需的人类的身体。 例如，该公司在预清洗、腐蚀、蚀刻等生产过程中会产生含氟废水。
1废水特点及处理要求
1.1 废水处理要求
处理后废水中COD、SS、氨氮、总磷、氟化物必须符合《半导体行业污染物排放标准》（征求意见稿），总氮必须符合所在污水处理厂设计进水标准公司位于。
1.2 设计工艺流程
该企业生产过程中的用水量和含氟废水排放量都很高。 超纯水需求量约35.8万吨/年，含氟废水产生量约68.6万吨/年。 根据其产生废水的性质和实际生产情况，公司计划采用去除率高、系统稳定的处理方法，对部分含氟废水进行处理，回用至超纯水生产系统，以减少废水的排放。整个工厂新鲜超纯水的消耗量。 考虑到含氟废水的排放量远大于超纯水的需求量，以及含氟废水的处理成本，公司采用公司所在地+布袋除尘器+三级树脂柱+终端过滤箱。 含氟废水的排放量远远大于超纯水，对纯水的需求以及含氟废水处理的成本，必须采用化学沉淀处理工艺处理后达标排放。
该公司含氟废水处理工艺流程如图1所示。含氟废水回用系统的主要原理是离子交换。 离子交换是利用固体离子交换器中的离子与稀溶液中的离子进行交换，以达到提取或除去溶液中某些离子的目的。 它是一种属于传质分离过程的A单元操作。 离子交换树脂夹在阴离子和阳离子交换膜之间，形成单个处理单元并构成淡水室。 离子交换率随树脂交联度的增加而降低，随粒径的减小而增加。 离子交换是液固相反应过程，必然涉及物质在液相和固相中的扩散过程。 该企业含氟废水经过阴离子交换树脂将F-交换到树脂中，产水回用至超纯水系统进一步处理。 含氟废水回用系统的主要步骤为：（1）含氟废水送至含氟废水收集池进行化学混凝沉淀； （2）将废水泵入ACF吸附塔，然后送至布袋过滤器处理。活性炭吸附和布袋过滤减少悬浮物、有机污染物、胶体对后续设备的影响； (3)废水依次送至SAC树脂塔、WBA树脂塔、SBA树脂塔，去除氟离子，同时降低废水介质电导率，控制pH值。
再生废水和剩余含氟废水采用两级化学沉淀工艺进行处理。 通过调节pH值，CaCl? 加入反应生成氟化钙沉淀后除去。 除氟过程中，水中的磷也会以磷酸钙的形式被去除； PAC混凝剂和PAM絮凝剂不仅可以去除废水中的细小悬浮颗粒，还可以去除色度、油污和微生物，氮、磷等富含营养物质，以及重金属、有机物等。
2 项目设计规模
公司每年产生含氟废水约68.6万吨，其中40万吨废水进入含氟废水回用系统。 公司含氟废水回用系统设计规模为42万吨/年。 ，可满足生产需要； 回用系统含氟废水回用比为9:10，超纯水生产系统可回用中水约36万吨/年。 反冲洗后，回用废水及剩余含氟废水总量为32.6万吨/年。 含氟废水处理系统设计处理规模为35万吨/年。
因此，公司的含氟废水回收系统和含氟废水处理系统能够满足公司的含氟废水处理需求。
3 项目运营分析
3.1 运行效果分析
分别检测含氟废水回用系统和含氟废水处理系统各单元进出的污染物浓度。 测试结果分别如表1和表2所示。 从测试数据可以看出，废水回用系统+布袋除尘器+三级树脂柱+终端过滤箱废物工艺处理了部分含氟废水并回用。 再生废水及其余含氟废水采用两级沉淀处理工艺处理。 ，尾水可达标排放。
3.2 经济效益分析
项目设备运行电费约98万元/年，耗材维护费用84万元/年，药品费用540万元/年，每吨废水运行费用约20元。 运营成本在企业可以接受的范围内。 ，该措施在经济上是可行的。
4。结论
某电子工业企业排放的含氟废水具有水量大、浓度高、毒性强的特点。 针对其含氟废水的特点，该公司采用沉淀处理工艺+布袋除尘器+三级树脂柱+终端过滤箱对部分含氟废水进行处理并回用。 再生废水及剩余含氟废水经过两级沉淀处理后排放。 结果表明，上述工艺不仅可以回用满足生产活动用水需求，而且处理后含氟废水可以实现达标排放。 工程实例证明，该处理项目可显着减少含氟废水排放量，运行稳定，满足清洁生产要求。