什么是四甲基氢氧化铵?常用于什么领域
四甲基氢氧化铵 (TMAH)
应用领域如下
(1)表面活性剂:由于TMAH是季铵碱,因此可以用作表面活性剂。
(2)有机合成试剂:四甲基氢氧化铵是有机碱,能与多种酸反应,生成相应的铵盐,如四甲基碳酸氢铵、四甲基氟化铵等,这些铵盐合成较困难,且不能商业化;能制备酸性化合物的烷基衍生物等。 (3)催化剂:四甲基氢氧化铵广泛用于有机硅合成中作相转移催化剂,如二甲基硅油、苄基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有机硅模塑料、有机硅树脂、硅橡胶等;可用作橡胶防老剂中间体的缩合催化剂;可用作沸石、分子筛合成的催化剂。其优点是反应完成后,加热分解成气体驱走,不会残留在产品中。
(4)分析:TMAH是一种优良的甲基化剂,甲基化能高,酯化速度快。气相色谱法测定脂肪酸组成时,TMAH作为预处理剂。在极谱分析中用作支持电解质。TMAH是一种强有机碱,可作为有机酸的滴定剂。特别是在避免金属离子和非水溶剂时,TMAH是一个不错的选择。
(5)半导体领域:TMAH在有机材料刻蚀中用作正性光刻胶显影剂。有机材料刻蚀主要指显影、图形转移后光刻胶的去除。TMAH是一种各向异性刻蚀剂,具有腐蚀性能优良、选择性好、无毒、对环境无污染等特点。最重要的是TMAH与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容,符合SOC(嵌入式系统微处理器)的发展趋势。TMAH正逐步取代KOH等刻蚀液,成为微机电系统(MEMS)技术中实现微三维结构的主要刻蚀剂。
(6)其他领域:在产品净化中用作无灰碱,使许多金属元素沉淀出来;用作pH缓冲剂。